Для цитирования:
Лозован А.А., Бецофен С.Я., Ленковец А.С., Шалин А.В., Иванов Н.А. Исследование влияния условий напыления системой инвертированных магнетронов на текстуру и остаточные напряжения в четырехслойных Ta/W/Ta/W-покрытиях. Известия вузов. Цветная металлургия. 2023;(4):48-59. https://doi.org/10.17073/0021-3438-2023-4-48-59
For citation:
Lozovan A.A., Betsofen S.Ya., Lenkovets A.S., Shalin A.V., Ivanov N.A. Sputtering by inverted magnetrons: influence on the texture and residual stresses in four layer Ta/W/Ta/W coatings. Izvestiya. Non-Ferrous Metallurgy. 2023;(4):48-59. https://doi.org/10.17073/0021-3438-2023-4-48-59
Послать статью по эл. почте 