Preview

Известия вузов. Цветная металлургия

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Шевейко А.Н., Левашов Е.А., Штанский Д.В. ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПОКРЫТИЙ В СИСТЕМЕ Si–B–C–N, ПОЛУЧЕННЫХ С ПОМОЩЬЮ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МИШЕНЕЙ SiBC. Известия вузов. Цветная металлургия. 2015;(4):55-62. https://doi.org/10.17073/0021-3438-2015-4-55-62

For citation:


Kiryukhantsev-Korneev F.V., Sheveyko A.N., Levashov E.A., Shtansky D.V. Investigation of the Si–B–C–N Thin Coatings Deposited Using Magnetron Sputtering of SiBC Targets. Izvestiya Vuzov. Tsvetnaya Metallurgiya (Universities' Proceedings Non-Ferrous Metallurgy). 2015;(4):55-62. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/0021-3438-2015-4-55-62

Просмотров: 243


ISSN 0021-3438 (Print)
ISSN 2412-8783 (Online)