Для цитирования:

Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Шевейко А.Н., Левашов Е.А., Штанский Д.В. ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПОКРЫТИЙ В СИСТЕМЕ Si–B–C–N, ПОЛУЧЕННЫХ С ПОМОЩЬЮ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МИШЕНЕЙ SiBC. Известия вузов. Цветная металлургия. 2015;(4):55-62. https://doi.org/10.17073/0021-3438-2015-4-55-62

For citation:

Kiryukhantsev-Korneev F.V., Sheveyko A.N., Levashov E.A., Shtansky D.V. Investigation of the Si–B–C–N Thin Coatings Deposited Using Magnetron Sputtering of SiBC Targets. Izvestiya. Non-Ferrous Metallurgy. 2015;(4):55-62. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/0021-3438-2015-4-55-62