Preview

Izvestiya vuzov. Tsvetnaya metallurgiya

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Кирюханцев-Корнеев Ф.В., Шевейко А.Н., Левашов Е.А., Штанский Д.В. ИССЛЕДОВАНИЕ ТОНКИХ ПОКРЫТИЙ В СИСТЕМЕ Si–B–C–N, ПОЛУЧЕННЫХ С ПОМОЩЬЮ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ МИШЕНЕЙ SiBC. Izvestiya vuzov. Tsvetnaya metallurgiya. 2015;(4):55-62. https://doi.org/10.17073/0021-3438-2015-4-55-62

For citation:


Kiryukhantsev-Korneev F.V., Sheveyko A.N., Levashov E.A., Shtansky D.V. Investigation of the Si–B–C–N Thin Coatings Deposited Using Magnetron Sputtering of SiBC Targets. Izvestiya Vuzov Tsvetnaya Metallurgiya (Proceedings of Higher Schools Nonferrous Metallurgy. 2015;(4):55-62. (In Russ.) https://doi.org/10.17073/0021-3438-2015-4-55-62

Просмотров: 202


ISSN 0021-3438 (Print)
ISSN 2412-8783 (Online)