ОСАЖДЕНИЕ ВОЛЬФРАМА ВОССТАНОВЛЕНИЕМ ЕГО ГЕКСАФТОРИДА ВОДОРОДОМ ПРИ СТЕХИОМЕТРИЧЕСКОМ СООТНОШЕНИИ КОМПОНЕНТОВ – ЭКОЛОГИЧЕСКИ ЧИСТЫЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС

Описано восстановление WF6 водородом на нагретой поверхности при атмосферном давлении, температурах 500–600 °С и стехиометрическом соотношении компонентов с последующими довосстановлением гексафторида вольфрама при t = 800 °С и конденсацией образовавшегося HF. На основе физико-химического механизма процесса разработан метод расчета полноты (α) восстановления WF6 и производительности (М) процесса осаждения вольфрама в зависимости от температуры, расхода газа и размеров реакционной поверхности. Показана возможность достижения М = 5,1 кг/ч и α = 80 % при получении тиглей диаметром 300 мм и высотой 500 мм. Довосстановление WF6 обеспечивает суммарную величину α > 99,9 %. Практически полная конденсация HF сначала при t = +1 °С, а затем при t = –78 °С позволяет снизить его концентрацию в отходящих газах ниже ПДК.

1. Королев Ю.М., Столяров В.И. Восстановление фторидов тугоплавких металлов водородом. М.: Металлургия, 1981; http://www.fluoridetech.ucaz.ru.

2. Красовский А.И., Чужко Р.К., Трегулов В.Р., Балаховский О.А. Фторидный процесс получения вольфрама. Физико-химические основы. Свойства металла. М.: Наука, 1981.

3. Раков Э.Г., Велешко Н.А. // Атом. техника за рубежом. 1974. Т. 1. С. 18.

4. Основные свойства неорганических фторидов: Справочник / Под ред. Н.П. Галкина. М.: Атомиздат, 1976.

5. Королев Ю.М., Соловьев В.Ф., Столяров В.И. и др. // Электрон. техника. Сер. 7. Технология, организация пр-ва и оборудование. 1979. Вып. 3 (94). С. 3.

6. Королев Ю.М., Соловьев В.Ф. // Цв. металлы. 1978. № 2. С. 37.

7. Рысс И.Г. Химия фтора и его неорганических соединений. М.: Госхимиздат, 1956.

8. Методические указания по измерению концентрации вредных веществ в воздухе рабочей зоны. Вып. ХХI. М.: Минздрав СССР, 1986.

9. Зеликман А.Н., Никитина Л.С. Вольфрам. М.: Металлургия, 1978.

10. Cady G.H., Hargreaves G.B. // J. Chem. Soc. 1961. Vol. 58. Р. 1563.