Описано восстановление WF6 водородом на нагретой поверхности при атмосферном давлении, температурах 500–600 °С и стехиометрическом соотношении компонентов с последующими довосстановлением гексафторида вольфрама при t = 800 °С и конденсацией образовавшегося HF. На основе физико-химического механизма процесса разработан метод расчета полноты (α) восстановления WF6 и производительности (М) процесса осаждения вольфрама в зависимости от температуры, расхода газа и размеров реакционной поверхности. Показана возможность достижения М = 5,1 кг/ч и α = 80 % при получении тиглей диаметром 300 мм и высотой 500 мм. Довосстановление WF6 обеспечивает суммарную величину α > 99,9 %. Практически полная конденсация HF сначала при t = +1 °С, а затем при t = –78 °С позволяет снизить его концентрацию в отходящих газах ниже ПДК.